PERT нарны зай | Таны мэдэх ёстой бүх зүйл
PERT нарны зай | Таны мэдэх ёстой бүх зүйл
PERT нарны зайнууд нь моно нүүр болон хоёр нүүртэй нарны зайн загварт тусгаж болох өндөр үр ашигтай нарны эрчим хүчний технологийн дунд өндөр үнэлгээ авсан.
Хэдийгээр PERT нарны зайнууд нь ердийн цахиурын аналогиасаа үйлдвэрлэхэд арай илүү өртөгтэй бөгөөд нарны машин, сансрын хэрэглээ зэрэг салбаруудад ашиглагддаг ч бүх нарны зай үйлдвэрлэгчид өндөр чанартай бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх зорилготойгоор тэдгээрийг барьж, зах зээлд гаргахыг хичээж байна. болон хэрэглэгчдэдээ хүргэх чанарын шийдэл. Хоёр нүүртэй нарны эсүүд асар их алдартай болж байна. Хэрэв ил задгай газар эсвэл хавтгай гадаргуу дээр сайн байрлуулсан бол тэдгээр нь гэрлийг шингээж, хоёр гадаргуугаас цахилгаан эрчим хүч үйлдвэрлэх чадвартай бөгөөд энэ нь ердийн эсүүдээс 30% хүртэл нэмэгддэг.
PERT нарны зай: Тэд хэрхэн ажилладаг вэ?
PERT гэдэг нь товчлол юм Идэвхгүй ялгаруулагчийн арын арын бүрэн сарнисан эсүүд. Тэд тархсан арын гадаргуутай бөгөөд энэ нь хөнгөн цагаан хайлштай BSF ашигладаг уламжлалт аналогиас эрс өөрчлөгдсөн юм. Энгийнээр хэлбэл, p-type дээр суурилсан ялтасны ялгаруулагчийг фосфорын тархалтаар үүсгэдэг бөгөөд BSF нь p-PERT дахь борын допингийн тусламжтайгаар хийгддэг.
PERT эсүүд нь гэрлийн нөлөөгөөр устгалд тэсвэртэй бөгөөд хоёр нүүрний эсийн хэлбэрт дасан зохицож чаддаг. Эдгээр нь саяхан нарны PV салбар болон судалгааны их дээд сургуулиудын сонирхлыг татсан. PV эрдэмтэд үйлдвэрт ашиглах боломжтой Si нарны зайн үр ашгийг нэмэгдүүлэхийн тулд өөр эсийн архитектурыг туршиж байна - ялангуяа PERC-ийн өндөр хамааралтай бүтэц нь эрчим хүчний өөрчлөлтийн үр ашгийн босго түвшинд хүрсэн бололтой.
AM1.5 спектрийн хэвийн параметрийн дагуу 25°С-ийн температурт, өндөр үр ашигтай идэвхгүй ялгаруулагч; Идэвхгүй ялгаруулагчийн арын арын бүрэн сарнисан эсүүд 25 орчим хувийн эрчим хүч хувиргах үр ашигтай болсон. Энэ нь FZ-ийн бус цахиур субстрат дээр суурилсан цахиур эсийн хувьд бүртгэгдсэн эрчим хүчний хувиргах үр ашгийн хамгийн ирээдүйтэй үзүүлэлт юм. PERT эсийн эсийн бүтцэд борын бага зэргийн тархалт нь эсийн цуврал эсэргүүцлийг бууруулаад зогсохгүй нээлттэй хэлхээний хүчдэлийг нэмэгдүүлсэн.
P төрлийн PERC V/S N төрлийн PERT
Идэвхгүй ялгаруулагчийн арын контактын бүтцийг илэрхийлдэг PERC нь орон нутгийн арын гадаргуугийн талбартай бөгөөд энэ нь p төрлийн PERC ба n төрлийн PERT (BSF) хоёрын үндсэн ялгаа юм. BSF нь Al-ийг Si руу допинг хийх замаар металлын хамт галлах ажиллагааны явцад тогтоогддог. BSF нь p төрлийн Si үндсэн хавтантай өндөр-бага холболтыг бий болгосноор нарны зайны үр ашгийг дээшлүүлэхэд тусалдаг. Цөөнхийн гүйгчдийг энэ холбоосоор түлхэж өгдөг бөгөөд энэ нь тэднийг Si өрлөгийн арын гадаргуу дээр дахин холбохоос сэргийлдэг.
PERT бүтцийн арын гадаргуу нь эсрэгээр бор (p-төрөл) эсвэл фосфор (n-төрөл)-ээр "бүрэн тархсан" байдаг. PERT нарны зайн технологийг n төрлийн Si эсүүдэд ихэвчлэн ашигладаг. Энэ нь металлын бохирдлыг тэсвэрлэх чадвар, бага температурын коэффициент, p-төрлийн Si ялтастай харьцуулахад n-төрлийн Si лаврын гэрлийн нөлөөгөөр багасдаг зэрэг давуу талтай юм. n төрлийн ялтсуудын дийлэнх хэсэг нь фосфороор дүүрсэн байдаг тул n-төрлийн Si-д гэрлийн өдөөгдсөн эвдрэл багасдаг бөгөөд энэ нь бор-хүчилтөрөгчийн хослол багатай холбоотой байж магадгүй юм.
Гэсэн хэдий ч "бүрэн тархсан" BSF нь өндөр температурт POCL болон BBr3 тархалт зэрэг шинэлэг аргуудыг ашиглах шаардлагатай болдог. Үүний үр дүнд PERT нарны зайг үйлдвэрлэх нь PERC-ээс илүү үнэтэй байдаг.
Гэсэн хэдий ч Идэвхгүй ялгаруулагчийн арын арын бүрэн сарнисан эсийн бүрэн талбайн BSF нь PERC-ийн хязгаарлагдмал, бүдүүн Al-based BSF-ээс илүү үр дүнтэй өндөр-бага уулзвар идэвхгүй байдлыг өгч чадна. Тунелийн ислийн идэвхгүй контакт (TOPCON) бүтцийг мөн n төрлийн PERT-тэй нэгтгэж болно. Энэ нь төхөөрөмжийн гаралтыг бүр ч илүү хөнгөвчлөх чадвартай.
Цөөнхийн амьдрах хугацааг уртасгасан Si субстрат өдтэй, BO цогцолбортой холбоотой доройтол байхгүй тул N төрлийн цахиурын нарны эсүүд алдар нэрийн жагсаалтад тогтмол өсч байна. Боловсруулалтын энгийн байдлаас шалтгаалан хоёр талт идэвхгүй ялгаруулагч ба PERT n төрлийн нарны зайнууд нь үйлдвэржилтэд хялбархан ашиглах боломжтой өндөр үр ашигтай шийдэл юм. P+ ялгаруулагчийг бий болгох нь PERT-ийн анхаарал татахуйц аргуудын нэг байсан. Олон жилийн турш BBr3 диффузийг бөөнөөр нь үйлдвэрлэхэд зориулж бий болгосон боловч n төрлийн нарны зайн үйлдвэржилт нь нэг төрлийн бодис, процессын нэгдлээс болж саад болж байна. n-PERT нарны эсүүд дэх борын бэхний эргэлт ба POCl3 тархалтын хослолыг судалж, баримтжуулсан. Судалгааны цаас. Судалгааны үр дүнд 90 гаруй хувийн хоёр нүүртэй нарны зайн үр ашиг 20.2 хувиас дээш байдаг нь тогтоогджээ.
n төрлийн хоёр нүүртэй PERT нарны зайг нэг талт допинг хийх ион суулгацыг агуулсан процессын урсгалыг ашиглан үйлдвэрлэж болно. Энэ нь ялгаруулагчийн уулзварын гайхалтай чанар, тууштай байдалд хүргэдэг.
PERT нарны зайнууд нь хэд хэдэн давуу талтай бөгөөд ихэнхийг нь доор жагсаав.
● PERC нарны зайнаас ялгаатай нь PERT хувилбар нь олон төрлийн материал, тухайлбал Boron BSF PERT олон таазанд идэвхгүйжүүлэлт хийснээр өндөр үр ашигтай байдаг ба гэрлийн нөлөөгөөр доройтдоггүй (LID).
● Өмчлөлийн өртөг нь PERC эсийнхтэй ижил байна.
● PERT шугамыг нүүрний моно эсвэл хоёр нүүрний эсүүдэд ашиглаж болох бөгөөд энэ нь түүнд маш олон талт байдлыг өгдөг.
PERT нарны зайг янз бүрийн шинэлэг арга, хослолыг ашиглан үйлдвэрлэсэн бөгөөд эсийн өвөрмөц төрлийг оновчтой болгодог. Агаар мандлын даралтын химийн уурын хуримтлал (APCVD) гэх мэт шинэ ухаалаг технологиуд нь арав гаруй жилийн турш хүлээн зөвшөөрөгдөхүйц өндөр бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Нэмж дурдахад, Хэвтээ хоолойн зуухыг ашиглан фосфор ялгаруулагч ба борын BSF нь нэг дулааны эргэлтэнд гардаг тул мөчлөгийн үргэлжлэх хугацааг богиносгодог. Учир нь Идэвхгүй ялгаруулагчийн арын арын бүрэн сарнисан эсийг уламжлалт арын хуудасны модулиудад ашиглаж болох бөгөөд моно нүүрээс хоёр нүүрний үйлдвэрлэл рүү шилжихийн тулд үйлдвэрлэлийн шугамыг дахин тохируулах нь хэдхэн цагийн ажил юм.
өмнөх:HJT нарны зай гэж юу вэ?